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低溫等離子廢氣處理設(shè)備里的介質(zhì)放電過(guò)程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、臭氧和激發(fā)態(tài)分子等。理論上有機(jī)廢氣與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，部分會(huì)被裂解，最終轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。

低溫等離子廢氣處理設(shè)備存在問(wèn)題大

國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的運(yùn)用低溫等離子體技術(shù)的治污設(shè)備，制造的環(huán)保公司對(duì)設(shè)備的除污參數(shù)，基本上都會(huì)提到這類設(shè)備的除污效率達(dá)到80%以上。大量可用于VOCs處理的低能量等離子體設(shè)備僅可用于治理油煙污染，在實(shí)際處理工業(yè)VOCs過(guò)程中，這種低溫等離子體技術(shù)設(shè)備對(duì)有機(jī)廢氣的降解基本無(wú)效和會(huì)生成污染副產(chǎn)物，其降解效率較低，而VOCs的易燃性令其安全性備受關(guān)注。

現(xiàn)大量使用的小功率低溫等離子體是過(guò)去餐廚行業(yè)用于油煙處理的，并不適合VOCs處理，且生成副產(chǎn)物和大量的臭氧，會(huì)引燃VOCs等問(wèn)題。

因?yàn)榈入x子體技術(shù)在短時(shí)間內(nèi)對(duì)包括芳香類化合物的有機(jī)廢氣處理效率是很低的，主要是生成中間產(chǎn)物。如采用大功率等離子體在穩(wěn)定的有機(jī)廢氣中，也要在一定的時(shí)間內(nèi)才有處理效果。而對(duì)于生產(chǎn)源源不斷高速排出的VOCs廢氣，其處理效率很低并會(huì)次生很多中間副產(chǎn)物，導(dǎo)致VOCs成分更復(fù)雜(這些副產(chǎn)物的危害性可能更大)，同時(shí)設(shè)備運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量無(wú)用臭氧，且有機(jī)廢氣絕大部分是易燃、易爆的化合物，等離子體運(yùn)行時(shí)的拉弧極易引爆VOCs，天津爆炸事件已令社會(huì)對(duì)其的安全性質(zhì)疑，故該技術(shù)在各地被禁用已日逐增加。